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2021

8-24

隨著半導(dǎo)體電子器件及集成電路技術(shù)的飛速發(fā)展，器件及電路結(jié)構(gòu)越來(lái)越復(fù)雜，這對(duì)微電子芯片工藝診斷、失效分析、微納加工的要求也越來(lái)越高。FIB雙束電鏡所具備的強(qiáng)大的精細(xì)加工和微觀分析功能，使其廣泛應(yīng)用于微電子設(shè)計(jì)和制造領(lǐng)域。FIB雙束電鏡系統(tǒng)是指同時(shí)具有聚焦離子束和掃描電子顯微鏡功能的系統(tǒng)，可以實(shí)現(xiàn)SEM實(shí)時(shí)觀測(cè)FIB微加工過(guò)程的功能，把電子束高空間分辨率和離子束精細(xì)加工的優(yōu)勢(shì)集于一身。其中，F(xiàn)IB是將液態(tài)金屬離子源產(chǎn)生的離子束經(jīng)過(guò)加速，再聚焦于樣品表面產(chǎn)生二次電子信號(hào)形成電子像，...

2021

8-22

FIB顯微鏡的原理和作用，快來(lái)了解一下吧！

隨著納米科技的發(fā)展，納米尺度制造業(yè)發(fā)展迅速，而納米加工就是納米制造業(yè)的核心部分，納米加工的代表性方法就是聚焦離子束。近年來(lái)發(fā)展起來(lái)的聚焦離子束(FIB)技術(shù)利用高強(qiáng)度聚焦離子束對(duì)材料進(jìn)行納米加工，配合FIB顯微鏡等高倍數(shù)電子顯微鏡實(shí)時(shí)觀察，成為了納米級(jí)分析、制造的主要方法。目前已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路修改、切割和故障分析等。FIB顯微鏡的工作原理：聚焦離子束(FIB)轟擊樣品表面，激發(fā)二次電子、中性原子、二次離子和光子等，收集這些信號(hào)，經(jīng)處理顯示樣品的表面形貌。聚焦離子束的...

2021

8-20

TEM掃描電鏡能通過(guò)哪些信號(hào)得到被檢測(cè)樣品信息？

TEM掃描電鏡的制造是依據(jù)電子與物質(zhì)的相互作用。當(dāng)一束高能的入射電子轟擊物質(zhì)表面時(shí)，被激發(fā)的區(qū)域?qū)a(chǎn)生二次電子、俄歇電子、特征x射線和連續(xù)譜X射線、背散射電子、透射電子等多種的信號(hào)，以及在可見(jiàn)、紫外、紅外光區(qū)域產(chǎn)生的電磁輻射。同時(shí)，也可產(chǎn)生電子-空穴對(duì)、晶格振動(dòng)(聲子)、電子振蕩(等離子體)。原則上講，利用電子和物質(zhì)的相互作用，可以獲取被測(cè)樣品本身的各種物理、化學(xué)性質(zhì)的信息，如：形貌、組成、晶體結(jié)構(gòu)、電子結(jié)構(gòu)和內(nèi)部電場(chǎng)或磁場(chǎng)等等。TEM掃描電鏡正是根據(jù)上述不同信息產(chǎn)生的機(jī)理，...

2021

8-18

你知道透射電鏡是由哪幾個(gè)部分組成的嗎？

透射電鏡結(jié)構(gòu)主要分為電子光學(xué)、真空系統(tǒng)和供電控制系統(tǒng)三個(gè)部分。一、透射電鏡電子光學(xué)部分：整個(gè)電子光學(xué)部分*置于鏡筒之內(nèi)，自上而下順序排列著電子槍、聚光鏡、樣品室、物鏡、中間鏡、投影鏡、觀察室、熒光屏、照相機(jī)構(gòu)等裝置。根據(jù)這些裝置的功能不同又可將電子光學(xué)部分分為照明系統(tǒng)、樣品室、成像系統(tǒng)及圖像觀察和記錄系統(tǒng)。1.照明系統(tǒng)：照明系統(tǒng)由電子槍、聚光鏡和相應(yīng)的平移對(duì)中及傾斜調(diào)節(jié)裝置組成。它的作用是為成像系統(tǒng)提供一束亮度高、相干性好的照明光源。電子槍由陰極、柵極和陽(yáng)極構(gòu)成。在真空中通電...

2021

8-18

FEI掃描電鏡的哪些功能是我們不知道的？

FEI掃描電鏡專(zhuān)為細(xì)胞、細(xì)胞器、石棉、聚合物和軟材料等在環(huán)境溫度和低溫下的二維和三維成像而設(shè)計(jì)。以其可選的、可伸縮的冷凍箱和低劑量技術(shù)提高了電子束敏材料的成像質(zhì)量。此外，可以在配置中添加側(cè)插式可伸縮能量色散光譜(EDS)探測(cè)器，以實(shí)現(xiàn)精確化學(xué)分析。超大間隙的C-Twin極靴提供了*的應(yīng)用靈活性，再加上超高穩(wěn)定性的電子鏡筒，為高分辨率三維表征、原位動(dòng)態(tài)觀察和衍射應(yīng)用提供了新的機(jī)會(huì)。FEI掃描電鏡具有高對(duì)比度、高質(zhì)量的TEM和stem成像，可同時(shí)檢測(cè)多種信號(hào)，并可采用四通道集成s...

2021

8-18

sem掃描電鏡到底具有哪些優(yōu)點(diǎn)？

sem掃描電鏡的分析室滿足了對(duì)元素(EDX，WDS)和晶體學(xué)(EBSD)樣品數(shù)據(jù)日益增長(zhǎng)的需求，該分析室支持多個(gè)EDX檢測(cè)器，以提高通量并消除陰影效應(yīng)。此外，分析室支持共面EDX/EBSD和平行光束WDS，以確保所有技術(shù)的佳定位。由于掃描電鏡的現(xiàn)場(chǎng)能力，即使在絕緣或高溫的樣品上也可以獲得可靠的分析結(jié)果。用于光子學(xué)，地球科學(xué)，陶瓷，玻璃和故障分析應(yīng)用的其他樣品信息來(lái)自*的可伸縮RGB陰極發(fā)光檢測(cè)器。掃描電鏡將廣泛的成像和分析模式與新型先進(jìn)的自動(dòng)化技術(shù)相結(jié)合，可提供同類(lèi)產(chǎn)品中完整...

2021

8-9

透射電鏡系統(tǒng)是由哪些部分組成的

透射電鏡是目前材料科學(xué)領(lǐng)域常用的分析儀器，廣泛地應(yīng)用于各個(gè)領(lǐng)域。透射電鏡，全稱(chēng)透射電子顯微鏡，簡(jiǎn)稱(chēng)TEM，是一種把經(jīng)加速和聚集的電子束透射到非常薄的樣品上，電子與樣品中的原子碰撞而改變方向，從而產(chǎn)生立體角散射。散射角的大小與樣品的密度、厚度等相關(guān)，因此可以形成明暗不同的影像，影像在放大、聚焦后在成像器件（如熒光屏，膠片以及感光耦合組件）上顯示出來(lái)的顯微鏡。TEM系統(tǒng)由以下幾部分組成：1、電子槍?zhuān)喊l(fā)射電子。由陰極，柵極和陽(yáng)極組成。陰極管發(fā)射的電子通過(guò)柵極上的小孔形成射線束，經(jīng)陽(yáng)...

2021

8-2

掃描電鏡的工作原理及特點(diǎn)分析

掃描電鏡（ScanningElectronMicroscope,簡(jiǎn)寫(xiě)為SEM）是一個(gè)復(fù)雜的系統(tǒng)，濃縮了電子光學(xué)技術(shù)、真空技術(shù)、精細(xì)機(jī)械結(jié)構(gòu)以及現(xiàn)代計(jì)算機(jī)控制技術(shù)。掃描電鏡主要是針對(duì)具有高低差較大、粗糙不平的厚塊試樣進(jìn)行觀察，因而在設(shè)計(jì)上突出了景深效果，一般用來(lái)分析斷口以及未經(jīng)人工處理的自然表面。工作原理：掃描電鏡電子槍發(fā)射出來(lái)的電子束，在加速電壓的作用下，經(jīng)過(guò)電磁透鏡系統(tǒng)匯聚，形成一個(gè)細(xì)的電子束斑聚焦在樣品表面，末級(jí)透鏡上裝有的掃描線圈可控制電子束在樣品表面掃描，同時(shí)高能電子...

2021

7-26

漲知識(shí)！掃描電鏡的類(lèi)型竟有如此之多

目前，已經(jīng)成功研制出的掃描電鏡包括：典型的掃描電鏡、掃描透射電鏡（STEM）?場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡（FESEM）、冷凍掃描電鏡（Cryo-SEM），低壓掃描電鏡(LVSEM)、環(huán)境掃描電鏡(ESEM）、掃描隧道顯微鏡（STM)、掃描探針顯微鏡(SPM)，原子力顯微鏡（AFM）等，以下介紹幾種常用的掃描電鏡。一、掃描隧道顯微鏡（STM）掃描隧道顯微鏡的工作原理是利用物理學(xué)上的隧道效應(yīng)及隧道電流。隧道效應(yīng)是指金屬中部分能量低于表面勢(shì)壘的自由電子能夠穿透金屬表面勢(shì)壘,形成金屬表面上的“電...

2021

7-23

選擇鎢燈絲掃描電鏡要考慮哪些因素？

鎢燈絲掃描電鏡是一種重要的測(cè)量分析儀器，在很多的實(shí)驗(yàn)室中都離不開(kāi)鎢燈絲掃描電鏡，出于到位的原理以及性能，鎢燈絲掃描電鏡的使用顯得更加的出色。對(duì)于使用者而言選擇合適的鎢燈絲掃描電鏡廠家顯得很重要。那么在選購(gòu)鎢燈絲掃描電鏡的過(guò)程中要留意什么因素呢?一般建議考慮以下幾點(diǎn)：一、特性特性是很多人關(guān)注的要素，所說(shuō)的特性包含兩個(gè)要素，包含操控特性及其技術(shù)參數(shù)。首先是操控特性，在設(shè)計(jì)設(shè)備的環(huán)節(jié)中操控特性是關(guān)鍵考察的要素，考驗(yàn)是設(shè)備部件相互之間的相互對(duì)接，能不能在測(cè)量的環(huán)節(jié)中更好的操控是干擾設(shè)...