賽默飛電子顯微鏡將成熟的技術(shù)和創(chuàng)新的功能結(jié)合，是需要對(duì)日益復(fù)雜的結(jié)構(gòu)和更小的尺寸進(jìn)行更大量精確測(cè)量的半導(dǎo)體和內(nèi)存環(huán)境的平臺(tái)是半導(dǎo)體和存儲(chǔ)環(huán)境對(duì)先進(jìn)制程日益復(fù)雜的結(jié)構(gòu)和不斷縮小的尺寸進(jìn)行大量精準(zhǔn)測(cè)量的平臺(tái)。
賽默飛電子顯微鏡擁有透鏡內(nèi)背散射探測(cè)器T1，其位置緊靠樣品以便盡可能多地收集信號(hào)，從而確保在很短的時(shí)間內(nèi)采集數(shù)據(jù)。與其他背散射探測(cè)器不同，這種快速的探測(cè)器始終可保證良好的材料對(duì)比度，在導(dǎo)航時(shí)、傾斜時(shí)或工作距離很短時(shí)也不例外。
在敏感樣品上，探測(cè)器的價(jià)值凸現(xiàn)出來，即使電流低至幾pA，它也能提供清晰的背散射圖像。復(fù)合末級(jí)透鏡通過能量過濾實(shí)現(xiàn)更準(zhǔn)確的材料對(duì)比度以及絕緣樣品的無電荷成像，進(jìn)一步延伸了T1BSE探測(cè)器的潛在價(jià)值。它還提供了流行選項(xiàng)來補(bǔ)充其探測(cè)能力，例如定向背散射探測(cè)器和低真空氣體分析探測(cè)器(GAD)。所有這些探測(cè)器都擁有的軟件控制分割功能，以便根據(jù)需求選擇最有價(jià)值的樣品信息。
賽默飛電子顯微鏡按照標(biāo)準(zhǔn)配備各種用以處理絕緣樣品的策略，對(duì)于最有挑戰(zhàn)性的應(yīng)用，可提供電荷緩解策略。其中包括可選的低真空(最高為500Pa)策略，通過經(jīng)現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證的穿鏡式差分抽氣機(jī)構(gòu)和專用低真空探測(cè)器，不但可以緩解任何樣品上的電荷，還能提供分辨率和較大的分析電流。
